Wafer Trim™

Wafer Trim™

Lasersysteme für das Trimmen von Wafern

M350 – Aktives IC-Trimmsystem

Die M350 ist eine fortgeschrittene Systemplattform für höchste Genauigkeiten und Durchsätze in Bezug auf das Trimmen von Wafer-basierenden ICs mit linearen oder gemischten Signalen.

Ihre Vorteile

  • Voll integrierter, hochmoderner Laser Trimmer und Testsystem für die Waferbearbeitung
  • Eine nachgewiesene, erstklassige Kontrolle über die Laserquelle ermöglicht eine Prozesskonsistenz mit höchster Ausbeute
  • Fortgeschrittene Bildverarbeitungs- und Bewegungssysteme bieten erheblich verbesserte Positionierungs- und Alignementmöglichkeiten
  • Optional sind kurz- oder langpuls Laserquellen verfügbar

Technische Daten

 

Strahlpositionierung: 

Hochgeschwindigkeitsgalvanometerscanner mit geschlossener Kontrollschleife 

Auflösung:  

0.02 μm 

Genauigkeit: 

± 2.0 μm 

Wafer Größe:  

bis zu 200 mm rund 

Achsen: 

X, Y, Z, W, Theta 

Fokusgröße: 

6.5 μm bis zu 12 μm (Optional 5 μm) 

Beladung: 

automatisiert (manuell als Option) 

Optionen

  • 3-Achs Servo-Roboter und Wafer Zentrierer
  • Wafergreifer mit Magazinmapping
  • Integration von kundenseitigen Testern
  • Detektion von anwesenden, fehlenden oder schräg eingeordneten Wafern
  • OCR und Barcode Leser
  • SEMI Schriftart mit Verifikationssumme und Barcode
  • Signalampel
  • Option für Tape/Film Frame
  • Option für das automatische Reinigen der Messspitzen
  • Option für das optische Ausrichten der Messspitzen
  • Inspektion der Messspitzen mittels hoch und geringauflösender Bildverarbeitung

Software

Die benutzerfreundliche Wafertrimmsoftware verbessert die Effizienz des Systems und bietet eine Kompatibilität zu bestehenden M310 Programmen.

Exklusive Lizenzrechte für das Circuit-Trimm-Produktportfolio der Electro Scientific Industries, Inc. (ESI) 
Mit dem Lizenzabkommen 2020 erwarb die Photonics Systems Group – und damit auch L-TRIS – Patente und Expertise für die Produktion, den Support sowie den Service des ESI Wafer-Trimsystems M350. Auf diesem Weg werden die kontinuierliche Beratung und Betreuung von Kunden, die diese Systeme im Einsatz haben, ermöglicht.

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