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Wafer Trim™ - L-TRIS Instruments

Wafer Trim™

Wafer Trim™

Lasersysteme für das Trimmen von Wafern

M350 – Aktives IC-Trimmsystem 

Die M350 ist eine fortgeschrittene Systemplattform für höchste Genauigkeiten und Durchsätze in Bezug auf das Trimmen von Wafer-basierenden ICs mit linearen oder gemischten Signalen. 

Ihre Vorteile

  • Voll integrierter, hochmoderner Laser Trimmer und Testsystem für die Waferbearbeitung  
  • Eine nachgewiesene, erstklassige Kontrolle über die Laserquelle ermöglicht eine Prozesskonsistenz mit höchster Ausbeute 
  • Fortgeschrittene Bildverarbeitungs- und Bewegungssysteme bieten erheblich verbesserte Positionierungs- und Alignementmöglichkeiten 
  • Optional sind kurz- oder langpuls Laserquellen verfügbar 

Technische Daten

 

Strahlpositionierung: 

Hochgeschwindigkeitsgalvanometerscanner mit geschlossener Kontrollschleife 

Auflösung:  

0.02 μm 

Genauigkeit: 

± 2.0 μm 

Wafer Größe:  

Unterstützt 100 – 200 mm Wafer

Achsen: 

X, Y, Z, W, Theta 

Fokusgröße: 

6.5 μm bis zu 12 μm (Optional 5 μm) 

Beladung: 

automatisiert (manuell als Option) 

Optionen

  • 3-Achs Servo-Roboter und Wafer Zentrierer 
  • Wafergreifer mit Magazinmapping 
  • Integration von kundenseitigen Testern 
  • Detektion von anwesenden, fehlenden oder schräg eingeordneten Wafern 
  • OCR und Barcode Leser 
  • SEMI Schriftart mit Verifikationssumme und Barcode 
  • Signalampel 
  • Option für Tape/Film Frame
  • Option für das automatische Reinigen der Messspitzen 
  • Option für das optische Ausrichten der Messspitzen 
  • Inspektion der Messspitzen mittels hoch und geringauflösender Bildverarbeitung 

Software

Die benutzerfreundliche Wafertrimmsoftware verbessert die Effizienz des Systems und bietet eine Kompatibilität zu bestehenden M310 Programmen. 

Exklusive Lizenzrechte für das Circuit-Trimm-Produktportfolio der Electro Scientific Industries, Inc. (ESI) 
Mit dem Lizenzabkommen 2020 erwarb die Photonics Systems Group – und damit auch L-TRIS – Patente und Expertise für die Produktion, den Support sowie den Service des ESI Wafer-Trimsystems M350. Auf diesem Weg werden die kontinuierliche Beratung und Betreuung von Kunden, die diese Systeme im Einsatz haben, ermöglicht. 

L-TRIS GmbH
Pionierstraße 6
82152 Krailling

T: +49 89 502 002-0

info@l-tris.com

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