ChipR Trim™

ChipR Trim™

Lasersysteme für das passive Trimmen von Chip-Widerständen

LT3100 & LT4100 – Dickschicht Chip Trimmer

Hochleistungssystem für das Trimmen von Dickschichtkomponenten bis hin zur Größe von 01005.

LT3110 & LT4110 – Dünnschicht Chip Trimmer

Hochleistungssystem für das Trimmen von Dünnschichtkomponenten bis hin zur Größe von 01005.

Ihre Vorteile

Ertragskontrolle und Durchsatz

  • Absolute Koordinaten verringern das „Wandern“ der Trimpositionen bei Step&Repeat Anwendungen
  • Vereinheitlichung von mehreren Systemen (sogenanntes Tool-Matching)
  • Größerer Durchsatz mit geringer Anzahl an Alignements
  • Ermöglicht kleinere Kontakt-Pad Geometrien

Verkürzte Produkteinrichtung

  • Die Trimm-Algorithmen können durch den Benutzer angepasst werden
  • Reduzierte Entwicklungszeit für die Programerstellung
  • Verwendung von plug-in Komponenten für die Anpassung der Benutzerschnittstelle

Technische Daten

Strahlpositionierung: 

Hochgeschwindigkeitsgalvanometerscanner mit geschlossener Kontrollschleife 

Auflösung: 

1.0 μm 

Verfahrweg: 

100 x 200 mm  

Achsen: 

X, Y, Z, W, Theta 

Fokusgröße: 

von 10µm (Dünnschicht) bis zu 30µm (Dickschicht) 

Beladung: 

automatisiert 

Optionen

  • Fokusdurchmesser bis zu 10µm
  • Patenierte 532nm Technologie der diodengepumpten Laserquelle  für exzellente Langzeitstabilität und Zuverlässigkeit
  • Patentierte Kalibrierung der Strahlpositionierung als auch Bildverarbeitung für hochgenaue Laserstrahlpositionierung
  • Hochgeschwindigkeitautomatisierung für das Handhabenvon dünnsten Substraten mit der neusten Generation an kleinsten Chip Widerständen
  • Messsystem mit weitem Messbereich
    1. Von 5 mOhm bis 1 GOhm
    2. Nachverfolgbarkeit der Messzertifizierung

Software

ChipTrim™ Software 

  • Graphische Benutzeroberfläche, spezifisch für die Chip-Trimmanwendungen
  • Unterstützung unterschiedlichster SW-Sprachen

Exklusive Lizenzrechte für das Circuit-Trimm-Produktportfolio der Electro Scientific Industries, Inc. (ESI) 
Mit diesem Lizenzabkommen 2020 erwarb die Photonics Systems Group – und damit auch L-TRIS – Patente und Expertise für die Produktion, den Support sowie den Service der Systeme LT31XX und LT41XX der ESI. Auf diesem Weg werden die kontinuierliche Beratung und Betreuung von Kunden, die diese Systeme im Einsatz haben, ermöglicht.

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